一、課程簡介:內容電子微探分析係以非破壞性之方法檢測固體物質標本內微小區域（最小可達10微米）之化學成分，故可對物質之雜質、包體、環帶變化、凝析相等之元素變化提供即時資料。課程共分兩大部分，第一部分說明電子微探儀各部之原理及功能，包括真空系統、傳統光學系統、電子光學系統、偵測系統及資料儲存系統。第二部分說明元素的定性及定量分析方法，包含經驗公式校正，Bence-Albee校正及ZAF校正等細節。本課程必需輔以每週約6小時的實習，以實際的儀器操作來達到數學的目的。

二、先修課程:預修課程本課程必需配合實習課程一起修習，否則毫無益處。

三、參考書目:教科書使用教材主要均為原版英文教科書，諸如
(1) Birk, L.S.著“Electron probe microanalysis”, 2nd edit.,
John Wiley,
(2) Andersen, C.A.著“Microprobe analysis”, John Wiley,
(3) Bertin, E.P.著“Introduction to X-ray spectrometric
analysis”, Plenum Press,
(4) Hren, J.J.等合著“Introduction to analytical electron
microscopy”, Plenum Press等，這些書籍在總圖書館內均可找到。

四、成績評量方式以期末考成績為準。

五、預修課程 本課程必需配合實習課程一起修習，否則毫無益處。