課程資訊
課程名稱
高科技廠務系統設計實驗
High Tech Facility System Design Lab 
開課學期
107-1 
授課對象
工學院  營建工程與管理組  
授課教師
張陸滿 
課號
CIE5131 
課程識別碼
521 U9210 
班次
 
學分
1.0 
全/半年
半年 
必/選修
選修 
上課時間
 
上課地點
 
備註
初選不開放。暑期課程。修過高科技廠房設施設計、設施營建管理或由授課教師認可。(修過兩門者優先。)與莊子壽合授
限本系所學生(含輔系、雙修生)
總人數上限:12人 
Ceiba 課程網頁
http://ceiba.ntu.edu.tw/1071CIE5131_ 
課程簡介影片
 
核心能力關聯
本課程尚未建立核心能力關連
課程大綱
為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
課程概述

本課程教授高科技廠務系統之基礎知識,授課範圍包含電力儀控系統、機械空調系統、純水系統以及氣體化學系統之架構、流程、功能與原理,並輔以系統實務操作與工廠現地參觀來提升學習成效 

課程目標
本課程設計的目的為提供高科技廠務系統所需的基本設計知識,加強學生對高科技廠廠務系統在實務上的理解。 
課程要求
修過高科技廠房設施設計、高科技廠房設施營建管理或由授課教師認可。(兩門課皆修過者優先考慮。 
預期每週課後學習時數
 
Office Hours
另約時間 
參考書目
1. Whyte, W., Cleanroom Design, John Wiley, 2nd ed., New York 1999
2. Chang, C.Y., and Sze, S.M., ULSI Technology, McGraw-Hill Company, Inc., International Edition, 1996, New York.
3. International Organization for Standards, ISO Standard 14644-4, part 4: Design, Construction, Start up, Geneva, Switzerland, 1999.
4. Nishi, Y., Doering, K., and Wooldridge, T., Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology, Marcel Dekker, New York, 2000.
 
指定閱讀
1. Whyte, W., Cleanroom Technology, John Wiley, New York 2001
2. Geng, H., Semiconductor Manufacturing Handbook, McGraw-Hill, 2005
3. ISO/DIS 14644-3 Test methods for measuring the performance of an installation, a cleanroom, or an associated controlled environment (2013).
 
評量方式
(僅供參考)
   
課程進度
週次
日期
單元主題
第2週
  課程及安全規定說明及純水前處理 
第3週
  純水中及精煉處理 
第4週
  純水處理系統實作測驗與報告 
第5週
  氣體與化學品供應系統 
第6週
  特殊氣體管路焊接與品質檢驗 
第7週
  氣體與化學品供應系統實作測驗與報告 
第8週
  機械系統-空調水側及氣側系統 
第9週
  機械系統-空氣處理系統 
第10週
  機械系統實作測驗與報告 
第11週
  電力與儀控系統-高/低壓系統 
第12週
  電力與儀控系統-中央監控 
第13週
  電力與儀控系統實作測驗與報告以及實驗總結