課程資訊
課程名稱
微系統導論
INTRODUCTION TO MICROSYSTEMS 
開課學期
94-1 
授課對象
工學院  機械工程學系  
授課教師
周元昉 
課號
ME5157 
課程識別碼
522 U4170 
班次
 
學分
全/半年
半年 
必/選修
選修 
上課時間
星期一1(8:10~9:00)星期二1(8:10~9:00)星期四1(8:10~9:00) 
上課地點
工綜213 
備註
 
 
課程簡介影片
 
核心能力關聯
核心能力與課程規劃關聯圖
課程大綱
為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
課程概述

一、課程簡介:
1. Introduction
2. Lithography
3. Thermal Oxidation
4. Vacuum Technology
5. Thermal Evaporation
6. Glow Discharges and Plasmas
7. Sputtering
8. Chemical Vapor Deposition
9. Mechanical Properties of Thin Films
10. Dry Etching Techniques
11. Doping
12. Silicon Surface Micromachining
13. Silicon Bulk Micromachining
14. Mechanical Properties of Silicon
15. Piezoresistivity
16. Piezoelectricity
17. LIGA Thehnology
18. Applications

二、先修課程:
1. 普通物理
2. 材料力學

三、參考書目: 

課程目標
 
課程要求
 
預期每週課後學習時數
 
Office Hours
 
指定閱讀
 
參考書目
 
評量方式
(僅供參考)
   
課程進度
週次
日期
單元主題
無資料