課程名稱：超微細加工
課程簡介：去實現微細機構(micro mechanism)與高密度情報通信裝置(device)等的微細技術(micro-techanology)可說是此新世紀最熱門的話題。要達到微細加工的條件不僅是加工單位需微小、機械精度要求高，且其加工的原理與過去的傳統加工完全不一樣；乃是利用新的物理與化學程序去達成的，可說是一門新技術的分野。
本課程的設計乃是以機械系的角度去介紹各種微細加工的特色，以及微細機械的開發應用；學習目標不只在學生對微細加工有更深的認識、也期許能了解新技術的建立原理。
課程宗旨：介紹各種微細加工方法的特色以及微細機械的開發與應用
教學目標：
1.使學生更深入認識各種微細加工技術的形成及其建構的原理
2.使學生比較各種微細加工技術的特長與未來的發展
教學單元：
1. 微細加工導論
2. 微細放電加工及其應用
3. 高密度能量束之微細加工
4. 微細超音波加工
5. 鑽石微切削加工
6. 新加工原理的磨粒加工
7. 微射出成形
8. 微電鑄與LIGA
9. 晶圓的微細加工
10.奈米探針的加工與應用

二、先修課程:機械製造