課程名稱 |
薄膜技術與表面分析 Thin-film Technology and Surface |
開課學期 |
110-1 |
授課對象 |
工學院 化學工程學系 |
授課教師 |
吳嘉文 |
課號 |
ChemE5030 |
課程識別碼 |
524 U1800 |
班次 |
|
學分 |
3.0 |
全/半年 |
半年 |
必/選修 |
選修 |
上課時間 |
星期二7,8,9(14:20~17:20) |
上課地點 |
綜504 |
備註 |
化工選修課程。與陳賢燁、陳嘉晉合授 總人數上限:60人 |
Ceiba 課程網頁 |
http://ceiba.ntu.edu.tw/1101ChemE5030_ |
課程簡介影片 |
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核心能力關聯 |
核心能力與課程規劃關聯圖 |
課程大綱
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為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
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課程概述 |
薄膜技術與表面分析 110年度第1學期
(Thin-Film Technology and Surface Analysis)
1. 課程簡介與薄膜之製作技術 (Introduction & Fabrication of Thin film) (吳嘉文)
1.1 授課資訊及課程內容介紹
1.2 薄膜之製作技術
溶膠-凝膠法:溶膠-凝膠拉伸法及旋轉塗佈法的原理;溶膠-凝膠法的各項技術;溶膠-凝膠法的各項優點
2. 表面分析技術介紹 (X光吸收光譜&表面物理化學吸附) (吳嘉文)
2.1 X光吸收光譜之原理與應用 (EXAFS & XANES)
2.2 表面物理化學吸附 (Nitrogen adsorption/desorption isotherm)
3. 二維石墨烯之製備 & 掃瞄電化學顯微鏡 (吳嘉文)
3.1 二維石墨烯之製備與應用 (Large-scale 2D graphene fabrication)
3.2 掃瞄電化學顯微鏡 (SECM) 之原理介紹與表面電化學量測
4. 物理法薄膜製備 (陳嘉晉)
蒸鍍法、濺鍍法、分子束磊晶等物理薄膜製備原理
5. 薄膜電性量測 (陳嘉晉)
薄膜導電度量測與分析技術
6. 微機電製程概述 (林順區博士)
微機電製程介紹與整合
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課程目標 |
薄膜技術與表面分析 110年度第1學期
(Thin-Film Technology and Surface Analysis)
1. 課程簡介與薄膜之製作技術 (Introduction & Fabrication of Thin film) (吳嘉文)
1.1 授課資訊及課程內容介紹
1.2 薄膜之製作技術
溶膠-凝膠法:溶膠-凝膠拉伸法及旋轉塗佈法的原理;溶膠-凝膠法的各項技術;溶膠-凝膠法的各項優點
2. 表面分析技術介紹 (X光吸收光譜&表面物理化學吸附) (吳嘉文)
2.1 X光吸收光譜之原理與應用 (EXAFS & XANES)
2.2 表面物理化學吸附 (Nitrogen adsorption/desorption isotherm)
3. 二維石墨烯之製備 & 掃瞄電化學顯微鏡 (吳嘉文)
3.1 二維石墨烯之製備與應用 (Large-scale 2D graphene fabrication)
3.2 掃瞄電化學顯微鏡 (SECM) 之原理介紹與表面電化學量測
4. 物理法薄膜製備 (陳嘉晉)
蒸鍍法、濺鍍法、分子束磊晶等物理薄膜製備原理
5. 薄膜電性量測 (陳嘉晉)
薄膜導電度量測與分析技術
6. 微機電製程概述 (林順區博士)
微機電製程介紹與整合
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課程要求 |
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預期每週課後學習時數 |
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Office Hours |
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指定閱讀 |
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參考書目 |
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評量方式 (僅供參考) |
No. |
項目 |
百分比 |
說明 |
1. |
隨堂點名, 小考, 作業 |
30% |
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2. |
Midterm |
35% |
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3. |
Final |
35% |
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週次 |
日期 |
單元主題 |
第1週 |
09/28 |
課程簡介與薄膜之製作技術 |
第2週 |
10/05 |
表面分析技術介紹 (X光吸收光譜&表面物理化學吸附) |
第3週 |
10/12 |
二維石墨烯之製備 & 掃瞄電化學顯微鏡 (SECM) |
第4週 |
10/19 |
物理法薄膜製備 |
第5週 |
10/26 |
薄膜電性量測 |
第6週 |
11/02 |
微機電製程概述 |
第7週 |
11/09 |
Chemical vapor deposition |
第8週 |
11/16 |
XPS/FT-IR |
第9週 |
11/23 |
Micro-CT |
第10週 |
11/30 |
期中考 |
第11週 |
12/07 |
3D X-ray and electron (TBD) |
第12週 |
12/14 |
X光繞射薄膜晶相分析實驗 |
第13週 |
12/21 |
原子力顯微儀 (AFM) |
第14週 |
12/28 |
以XPS與Auger進行表面分析實驗 |
第15週 |
01/04 |
掃描式電子顯微鏡(SEM)分析實驗 |
第16週 |
01/11 |
表面電漿共振實驗 |
第17週 |
01/18 |
期末考 |