課程名稱 |
薄膜技術與表面分析 Thin-film Technology and Surface |
開課學期 |
103-2 |
授課對象 |
工學院 化學工程學研究所 |
授課教師 |
陳賢燁 |
課號 |
ChemE5030 |
課程識別碼 |
524 U1800 |
班次 |
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學分 |
3 |
全/半年 |
半年 |
必/選修 |
選修 |
上課時間 |
星期四7,8,9(14:20~17:20) |
上課地點 |
普404 |
備註 |
化工選修課程。與吳乃立、呂宗昕、吳紀聖、廖英志、趙 玲、康敦彥合開 限學士班四年級以上 總人數上限:50人 |
Ceiba 課程網頁 |
http://ceiba.ntu.edu.tw/1032ChemE5030_ |
課程簡介影片 |
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核心能力關聯 |
核心能力與課程規劃關聯圖 |
課程大綱
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為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
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課程概述 |
Introduction to various fundamental techniques in analyzing thin-film materials. Lectures on different analytical theories. Students are provided with opportunities to operate experimental instruments and apparatuses. |
課程目標 |
thin film tech |
課程要求 |
1. 課程簡介與緒論 (Introduction)
2. X射線光電子光譜(XPS)與螺旋電子光譜(Auger)進行表面分析:
2.1表面分析簡介:
表面的定義;表面敏度;儀器計測法。
2.2 X射線光電子光譜學:
X射線誘導光電子;結合能與化學轉移;光譜特徵。
2.3 螺旋電子光譜學:
電子之螺旋程序;深度剖面解析
2.4 實驗說明
3. 掃描式電子顯微鏡(SEM)分析:
3.1 緒論
3.2 電子顯微鏡的分類及其功能
3.3 電子束與物質之作用
3.4 電子顯微鏡、光學顯微鏡及X光繞射儀之特性與功能比較
3.5 電子顯微鏡之機台構造
3.6電子顯微鏡照片之分析
3.7 實驗說明
4. 薄膜之製作技術一 (Thin film formation methods):
4.1溶膠-凝膠法:
溶膠-凝膠拉伸法及旋轉塗佈法的原理;溶膠-凝膠法的各項技術;溶膠-凝膠法的各項優點
4.2化學蒸鍍法:
反應種類;化學蒸鍍法的熱力學;氣體傳輸;薄膜成長機制
4.3噴墨法:
反應種類;噴墨法的製程控制;圖案化薄膜製備以及參數分析
4.4電漿及離子光束法
反應濺鍍過程;各種物理蒸鍍法的結合
4.5實驗說明
5. 原子力顯微儀(AFM)
5.1 穿隧效應
5.2 穿隧效應之應用(掃描式穿隧顯微鏡學)
5.3 原子力顯微鏡(AFM)
基本概念介紹;定力操作模式與定高操作模式;儀器計測法(懸臂樑式探測法與壓電陶瓷);接觸模式(Contact mode)與流動槽;輕叩模式(Tapping mode)。
5.4側力顯微鏡學(LFM)
5.5相差成像(phase imaging)
5.6實驗說明
6. X光繞射分析(XRD):
6.1 X光繞射原理 :
6.2 X光繞射晶相分析
6.3 X光繞射晶向與晶粒尺寸分析
6.4研究範例
6.5實驗說明
7. 表面電漿共振 (SPR):
7.1簡介
表面電漿共振之原理、表面電漿共
振之配置
7.2生物分子間之交互作用
基本定義及原理介紹、結合常數之性質與決定
7.3應用表面電漿共振於生物分子間之交互作用
7.4表面電漿共振數據分析
7.5研究相關範例
7.6 實驗說明
8. 同步輻射簡介
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預期每週課後學習時數 |
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Office Hours |
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指定閱讀 |
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參考書目 |
待補 |
評量方式 (僅供參考) |
No. |
項目 |
百分比 |
說明 |
1. |
期中考 |
40% |
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2. |
期末考 |
40% |
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3. |
課程參與 |
20% |
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週次 |
日期 |
單元主題 |
第1週 |
2/26 |
課程簡介與氣相薄膜製備及分析技術-陳賢燁老師 |
第2週 |
3/05 |
同步輻射分析技術-詹丁山博士 |
第3週 |
3/12 |
X光繞射分析-吳乃立老師 |
第4週 |
3/19 |
XPS-吳紀聖老師 |
第5週 |
3/26 |
有機光電薄膜之製備與分析-康敦彥老師 |
第6週 |
4/02 |
溫書假 |
第7週 |
4/09 |
SEM-呂宗昕老師
(課堂上發放講義)
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第8週 |
4/16 |
AFM、FTIR於薄膜製備及分析之應用-廖英志老師
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第9週 |
4/23 |
期中考 |
第10週 |
4/30 |
SPR-趙玲老師 |
第11週 |
5/07 |
氣相薄膜製備 實習 |
第12週 |
5/14 |
氣體透過率之量測 實習 |
第13週 |
5/21 |
X光繞射薄膜晶相分析 實習
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第14週 |
5/28 |
原子力顯微儀AFM 實習 |
第15週 |
6/04 |
以XPS與Auger進行表面分析 實習 |
第16週 |
6/11 |
掃描式電子顯微鏡SEM 實習 |
第17週 |
6/18 |
表面電漿共振SPR 實習 |
第18週 |
06/25 |
期末考 |