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課程名稱 |
微奈米機電系統
Micro-electro-mechanical System & Nanotechnology |
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開課學期 |
108-2 |
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授課對象 |
工學院 工程科學及海洋工程學研究所 |
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授課教師 |
陳建甫 |
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課號 |
AM7084 |
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課程識別碼 |
543 M5850 |
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班次 |
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學分 |
3.0 |
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全/半年 |
半年 |
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必/選修 |
選修 |
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上課時間 |
星期三7,8,9(14:20~17:20) |
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上課地點 |
應109 |
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備註 |
總人數上限：60人 |
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Ceiba 課程網頁 |
http://ceiba.ntu.edu.tw/1082AM7084_ |
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課程簡介影片 |
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核心能力關聯 |
核心能力與課程規劃關聯圖 |
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課程大綱
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為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
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課程概述 |
本課程將藉由介紹奈微米微機電元件之不同應用設計以及相關製造技術，讓學生了解奈微米機電系統。目前奈微米機電系統中實際應用之感測器、致動器、以及多功能元件等不同應用目的之相關設計以及製造範例將在課堂中被提出討論並解說，更重要的是將設計實驗，讓學生有動手執行實驗之經驗，接軌將來修課學生投身於半導體以及微機電領域研究。 |
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課程目標 |
藉由課程介紹了解奈微米機電系統感測器、致動器、以及多功能元件等不同應用目的之相關設計以及製造。
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課程要求 |
學期評量成績平均需高於B- |
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預期每週課前或/與課後學習時數 |
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Office Hours |
每週四 14:00~17:00 |
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指定閱讀 |
無 |
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參考書目 |
1. Stephen D. Senturia, Microsystem Design, 2001, Springer.
2. Relative Journal and conference papers. |
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評量方式
(僅供參考) |
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No. |
項目 |
百分比 |
說明 |
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1. |
Midterm exam |
40% |
Close-book test |
2. |
Final exam |
50% |
Close-book test |
3. |
Lab reports |
10% |
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- 本校尚無訂定 A+ 比例上限。
- 本校採用等第制評定成績，學生成績評量辦法中的百分制分數區間與單科成績對照表僅供參考，授課教師可依等第定義調整分數區間。詳見學習評量專區 (連結)。
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週次 |
日期 |
單元主題 |
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第3週 |
3/04 |
Introduction |
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第4週 |
3/11 |
Scaling |
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第5週 |
3/18 |
Lithography |
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第6週 |
3/25 |
Material |
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第7週 |
4/01 |
Deposition |
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第8週 |
4/08 |
Etching |
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第9週 |
4/15 |
Experiment: Lithography |
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第10週 |
4/22 |
Midterm Exam |
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第11週 |
4/29 |
Bulk Micromachining |
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第12週 |
5/06 |
Surface Micromachining and LIGA |
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第13週 |
5/13 |
Electrostatic Transduction Piezoresistivity |
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第14週 |
5/20 |
BioMEMS |
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第15週 |
5/27 |
Experiment: Micromachining |
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第16週 |
6/03 |
Experiment: Micromachining |
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第17週 |
6/10 |
Final Exam |
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