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課程名稱 |
微奈米機電導論與實務
Process of Nano/Micro Electro Mechanical System |
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開課學期 |
105-1 |
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授課對象 |
學程 奈米科技學程 |
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授課教師 |
胡文聰 |
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課號 |
AM5029 |
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課程識別碼 |
543 U6990 |
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班次 |
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學分 |
3 |
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全/半年 |
半年 |
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必/選修 |
選修 |
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上課時間 |
星期三7,8,9(14:20~17:20) |
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上課地點 |
應113 |
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備註 |
與宋家驥、吳文中、陳建彰、林致廷合開
總人數上限：20人 |
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課程簡介影片 |
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核心能力關聯 |
核心能力與課程規劃關聯圖 |
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課程大綱
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為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
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課程概述 |
本課程主要在提供學生實作微型元件之機會以培養出來之微奈米機電製程能力，進而訓練啟發學生的創造力、獨立思考與設計微奈米機電元件，訓練學生自行從晶片元件的結構與尺寸設計來達成其致動或感測的目標，並實際經由微機電製程技術來製作出所設計之元件，期能將理論與實務結合，著重在各式微奈米機電系統之基本製程技術之訓練，包含薄膜沉積、薄膜蝕刻、微影製程、晶片接合及體型微細加工(微管道、懸臂梁、薄膜結構)等各式微元件之加工製作，最後則進行元件的實行與實驗，完成一整套的設計、製作、測試、除錯的元件實作課程。並於課程結束後取得奈米機中心之一般訓練認證。 |
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課程目標 |
瞭解微機電系統的技術內容，包括基礎 IC 製程技術、微奈米機電製程之微加工技術、微感測器與微致動器、封裝檢測、應用技術及微機電系統技術現況與未來發展趨勢。 |
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課程要求 |
本學期課程主要以無塵室內之機台實作為主，須配合進出無塵室之相關規定。 |
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預期每週課前或/與課後學習時數 |
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Office Hours |
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指定閱讀 |
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參考書目 |
陳建人 微機電系統技術與應用 國科會精儀中心出版 2004.
莊達人 VLSI 製造技術 高立圖書公司出版 1994
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評量方式
(僅供參考) |
- 本校尚無訂定 A+ 比例上限。
- 本校採用等第制評定成績，學生成績評量辦法中的百分制分數區間與單科成績對照表僅供參考，授課教師可依等第定義調整分數區間。詳見學習評量專區 (連結)。
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