課程名稱 |
生物微機電技術與實務 BioMEMS Fabrication |
開課學期 |
107-2 |
授課對象 |
生物資源暨農學院 生物機電工程學研究所 |
授課教師 |
盧彥文 |
課號 |
BME4670 |
課程識別碼 |
631 U5720 |
班次 |
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學分 |
1.0 |
全/半年 |
半年 |
必/選修 |
選修 |
上課時間 |
第1 週 |
上課地點 |
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備註 |
密集課程。2月13~15日第2、3、4、6、7、8節 總人數上限:5人 |
Ceiba 課程網頁 |
http://ceiba.ntu.edu.tw/1072BME4670_ |
課程簡介影片 |
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核心能力關聯 |
本課程尚未建立核心能力關連 |
課程大綱
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為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
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課程概述 |
課程中將以實務的操作搭配系上的製程儀器 (曝光機、反應性離子蝕刻機、蒸鍍機等),並講授其應用。著重以製作開發生物微機電晶片、微流道晶片、組織生物晶片的基本元件之基本訓練。 |
課程目標 |
本課程主要介紹有關生物微機電的製程相關 (BioMEMS) 的基本原理及應用技術,同時利用生機系的無塵室進行基本製程技術的示範與操作。 |
課程要求 |
出席與上課參與
實作成果
隨堂測驗 |
預期每週課後學習時數 |
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Office Hours |
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指定閱讀 |
待補 |
參考書目 |
待補 |
評量方式 (僅供參考) |
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週次 |
日期 |
單元主題 |
第1週 |
2/13 |
Introduction + Lithography |
第2週 |
2/14 |
Metal Deposition |
第3週 |
2/16 |
Soft Lithography |