半導體實驗課程是教學生動手做實驗驗證書本上的知識,明白實驗與課本理論的差距,進而思考解決問題,養成大學生獨立思考的能力。 授課大綱可分列如下: 實驗一 熱電性質與四點探針方法 實驗二 Van Der Pauw量測與霍爾效應 實驗三 熱蒸鍍與濺鍍系統 實驗四 氧化層之成長與厚度量測 實驗五 MOSFET之製作與量測 實驗六 光偵測元件之製作與量測