課程資訊
課程名稱
微感測器
MICRO SENSORS 
開課學期
96-1 
授課對象
電機資訊學院  電子工程學研究所  
授課教師
林致廷 
課號
EE5055 
課程識別碼
921 U2510 
班次
 
學分
全/半年
半年 
必/選修
選修 
上課時間
星期五6,7,8(13:20~16:20) 
上課地點
電二104 
備註
總人數上限:35人 
Ceiba 課程網頁
http://ceiba.ntu.edu.tw/961microsensors 
課程簡介影片
 
核心能力關聯
本課程尚未建立核心能力關連
課程大綱
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課程概述

微感測器(micro-sensors)是微系統(micro-systems)中重要的一環,用以聯繫現實世界(physical world)及電子系統(electronic systems),藉由監測各種不同的環境變化(mechanics, optics, and fluidics)將類比式資訊經由介面電路(interface circuits)輸入微處理器(microprocessor)進行分析及處理。因此了解微感測器的設計、製程及運作方式不但對於瞭解系統設計將有極大的幫助,更可以為學生在將來不論是學術研究或實際應用層面上奠定良好的基礎。
本課程主要是介紹各種微感測器的基本運作方式及相關製程技術,並進一步探討其未來可能的發展。於課程中將就下列主題進行研討:
1. 基本微製程技術(fundamental of micro-fabrication technology):薄膜製程(thin-film process)、光蝕刻(photolithography)、沉積(deposition)及蝕刻(etching)技術。
2. 常見微機電製程技術(common micromachining technology):矽製程(silicon bulk micromachining) 、模鑄技術(molding)及微立體加工技術(3-D micromachining)。
3. 基本感測器理論(fundamental sensor modeling):基本靜力學(Static Mechanics)、壓阻效應(piezo-resistance)、光阻效應(photo-resistance)及電容量測模型(capacitive measurement)。
4. 微感測器原理之應用(micro-sensor applications):a.電容感測器; b.壓阻感測器; c. 熱感測器; d. 基因感測器; e. 蛋白質感測器
 

課程目標
針對現在廣泛應用之微感測技術及相關製作技術作一深入淺出的探討 
課程要求
無 
預期每週課後學習時數
 
Office Hours
每週五 14:20~17:20 
參考書目
1. Kovacs, G. T. A., Micromachined Transducers Sourcebook, McGraw Hill,
1998
2. Madou, M., Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, 1997
3. Gardner, J. W., Varadan, V. K., Awadelkarim, O. O., Microsensors,
MEMS, and Smart Devices, Wiley, 2001
 
指定閱讀
 
評量方式
(僅供參考)
 
No.
項目
百分比
說明
1. 
期中考 
35% 
 
2. 
期末考 
0% 
 
3. 
隨堂測驗 
0% 
 
4. 
作業 
30% 
 
5. 
報告 
35% 
 
 
課程進度
週次
日期
單元主題
第1週
9/21  Introduction 
第2週
9/28  Semiconductor Processing Technologies
 
第3週
10/05  Semiconductor Processing Technologies 
第4週
10/12  No Class 
第5週
10/19  Semiconductor Processing Technologies 
第6週
10/26  Silicon Micromaching Technologies 
第7週
11/02  Silicon micromachining 
第8週
11/09  silicon micromachining 
第9週
11/16  Surface Micromachining 
第10週
11/23  Mechanics 
第11週
11/30  Mid-term 
第12週
12/07  Microfluidics 
第13週
12/14  Capacitive Sensors 
第14週
12/21  Capacitive Sensors and Actuators 
第15週
12/28  Piezoresisitive Sensors 
第16週
1/04  Thermal Sensors 
第17週
1/11  Biosensors