|
課程名稱 |
微感測器
Micro Sensors |
|
開課學期 |
102-1 |
|
授課對象 |
學程 奈米科技學程 |
|
授課教師 |
黃念祖 |
|
課號 |
EE5055 |
|
課程識別碼 |
921 U2510 |
|
班次 |
|
|
學分 |
3 |
|
全/半年 |
半年 |
|
必/選修 |
選修 |
|
上課時間 |
星期五2,3,4(9:10~12:10) |
|
上課地點 |
電二102 |
|
備註 |
總人數上限：50人 |
|
Ceiba 課程網頁 |
http://ceiba.ntu.edu.tw/1021microsensors |
|
課程簡介影片 |
|
|
核心能力關聯 |
本課程尚未建立核心能力關連 |
|
課程大綱
|
|
為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
|
|
課程概述 |
微感測器是一種將現實世界的資訊(如 壓力,重力,溫度,速度) 轉換為電子訊號的工具,今日已廣泛的使用在日常生活中,舉凡智慧型手機,家用電器,交通工具等,本課程將會對微感測器的相關製程和工作原理做完整的介紹,並探討未來的發展方向,本課程內容主要包含三部分
1.基本微製程技術和製程材料選擇
2.微感測器理論和設計
3.微感測器的應用
|
|
課程目標 |
以期學生能從課程中學習如何設計微感測器並分析其性能 |
|
課程要求 |
|
|
預期每週課後學習時數 |
|
|
Office Hours |
|
|
指定閱讀 |
上課投影片為主 |
|
參考書目 |
•Kovacs, G. T. A., Micromachined Transducers Sourcebook, McGraw Hill, 1998
•Madou, M., Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, 1997
•Gardner, J. W., Varadan, V. K., Awadelkarim, O. O., Microsensors,
MEMS, and Smart Devices, Wiley, 2001
•Senturia, S., Microsystem Design, Kluwer Academic Publishers, 2001
|
|
評量方式
(僅供參考) |
|
No. |
項目 |
百分比 |
說明 |
|
1. |
作業 |
30% |
|
2. |
期中考 |
35% |
|
3. |
期末報告 |
35% |
口頭報告 15%
書面報告 20% |
4. |
課堂參與 |
10% |
Bonus point |
|
|
週次 |
日期 |
單元主題 |
|
第1週 |
9/13 |
Course Introduction |
|
第2週 |
9/20 |
No class (中秋節) |
|
第3週 |
9/27 |
Semiconductor Processing Technologies |
|
第4週 |
10/04 |
Silicon Micromaching Technologies-Bulk Micromachining |
|
第5週 |
10/11 |
Silicon Micromaching Technologies-Surface Micromachining |
|
第6週 |
10/18 |
MEMS fabrication Technologies-CMOS MEMS |
|
第7週 |
10/25 |
MEMS fabrication Technologies-Non Si Process |
|
第8週 |
11/01 |
Polymer Micromachining – Soft Lithography |
|
第9週 |
11/08 |
Midterm |
|
第10週 |
11/15 |
No class (校慶) |
|
第11週 |
11/22 |
Introduction to Mechanical Structure and Modeling |
|
第12週 |
11/29 |
Capacitive Sensors/Actuators |
|
第13週 |
12/06 |
Resonance & Optical Sensors/Actuators |
|
第14週 |
12/13 |
Piezoresistive Sensors/Actuators |
|
第15週 |
12/20 |
Electro-Thermal Sensors/Actuators |
|
第16週 |
12/27 |
Biomedical Sensors/Actuators |
|
第17週 |
1/03 |
Final Project Presentation |
|