課程資訊
課程名稱
微感測器
Micro Sensors 
開課學期
100-1 
授課對象
電機資訊學院  電機工程學研究所  
授課教師
田維誠 
課號
EE5055 
課程識別碼
921 U2510 
班次
 
學分
全/半年
半年 
必/選修
選修 
上課時間
星期二6,7,8(13:20~16:20) 
上課地點
電二104 
備註
總人數上限:50人 
Ceiba 課程網頁
http://ceiba.ntu.edu.tw/1001microsensor 
課程簡介影片
 
核心能力關聯
本課程尚未建立核心能力關連
課程大綱
為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
課程概述

1. Micro sensor/actuators are miniature devices
•Created by various micro-fabrication techniques
•Capable of performing and transferring mechanical, electrical, optical,
fluidic, and other types of signals
•Able to bridge the electronic systems to the real world
2. This course introduces this emerging and multi-disciplinary research field in
MEMS/Sensors and Actuators/Microsystems Areas
 

課程目標
1. To apply project management skills for homeworksand final project presentations (team forming; Gann chart: identify roles and define tasks; technology benchmark: papers and patents survey; communication: presentation and writing)
2. To build a happy learning attitude of biomedical micro/nanoanalytical systems 
課程要求
 
預期每週課後學習時數
 
Office Hours
 
指定閱讀
 
參考書目
•Kovacs, Gregory T.A., Micromachined Transducers Sourcebook, McGraw Hill, 1998
•Madou, M., Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, Inc. Boca Raton, FL., 1997
•Senturia, S.D., Microsystem Design, KluwerAcademic Publishers, 2000 
評量方式
(僅供參考)
 
No.
項目
百分比
說明
1. 
Class Interaction 
10% 
1. 2-3 in-class quiz. 2. Open Book and Open Discussion. 
2. 
2 Homework Sets 
20% 
1. Due at the beginning of the following course. 2. Late homework: -Within one day: 20% off -Over one day: 50% off -Over one week: Ah… do the next one 
3. 
1 Midterm 
30% 
Single page with double-sided cheat-sheet is available, no discussion in midterm!! 
4. 
Final Project 
40% 
Oral:20%; Report: 20% 
 
課程進度
週次
日期
單元主題
第1週
9/13  Course Introduction 
第2週
9/20  Semiconductor Processing Technologies 
第3週
9/27  Silicon Micromaching Technologies-Bulk Micromachining 
第4週
10/04  Silicon Micromaching Technologies-Surface Micromachining 
第5週
10/11  MEMS fabrication Technologies-CMOS MEMS 
第6週
10/18  MEMS fabrication Technologies-Non Si Process 
第7週
10/25  Study Week 
第8週
11/01  Study Week 
第9週
11/08  Midterm 
第10週
11/15  No class 
第11週
11/22  Introduction to Mechanical Structure and Modeling 
第12週
11/29  Capacitive & PiezoresistiveSensors/Actuators 
第13週
12/06  Resonance, Optical & Electro-Thermal Sensors/Actuators 
第14週
12/13  Biomedical Sensors/Actuators 
第15週
12/20  Fundamentals of electrical circuits/systems for sensors and actuators 
第16週
12/27  Fundamentals of electrical circuits/systems for sensors and actuators 
第17週
1/03  Final Project Presentation