微感測器(micro-sensors)是微系統(micro-systems)中重要的一環，用以聯繫現實世界(physical world)及電子系統(electronic systems)，藉由監測各種不同的環境變化(mechanics, optics, and fluidics)將類比式資訊經由介面電路(interface circuits)輸入微處理器(microprocessor)進行分析及處理。因此了解微感測器的設計、製程及運作方式不但對於瞭解系統設計將有極大的幫助，更可以為學生在將來不論是學術研究或實際應用層面上奠定良好的基礎。
本課程主要是介紹各種微感測器的基本運作方式及相關製程技術，並進一步探討其未來可能的發展。於課程中將就下列主題進行研討：
1. 基本微製程技術(fundamental of micro-fabrication technology)：薄膜製程(thin-film process)、光蝕刻(photolithography)、沉積(deposition)及蝕刻(etching)技術。
2. 常見微機電製程技術(common micromachining technology)：矽製程(silicon bulk micromachining) 、模鑄技術(molding)及微立體加工技術(3-D micromachining)。
3. 基本感測器理論(fundamental sensor modeling)：基本靜力學(Static Mechanics)、壓阻效應(piezo-resistance)、光阻效應(photo-resistance)及電容量測模型(capacitive measurement)。
4. 微感測器原理之應用(micro-sensor applications)：a.電容感測器; b.壓阻感測器; c. 熱感測器; d. 基因感測器; e. 蛋白質感測器