課程名稱 |
微感測器 MICRO SENSORS |
開課學期 |
96-1 |
授課對象 |
電機資訊學院 電子工程學研究所 |
授課教師 |
林致廷 |
課號 |
EE5055 |
課程識別碼 |
921 U2510 |
班次 |
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學分 |
3 |
全/半年 |
半年 |
必/選修 |
選修 |
上課時間 |
星期五6,7,8(13:20~16:20) |
上課地點 |
電二104 |
備註 |
總人數上限:35人 |
Ceiba 課程網頁 |
http://ceiba.ntu.edu.tw/961microsensors |
課程簡介影片 |
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核心能力關聯 |
本課程尚未建立核心能力關連 |
課程大綱
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課程概述 |
微感測器(micro-sensors)是微系統(micro-systems)中重要的一環,用以聯繫現實世界(physical world)及電子系統(electronic systems),藉由監測各種不同的環境變化(mechanics, optics, and fluidics)將類比式資訊經由介面電路(interface circuits)輸入微處理器(microprocessor)進行分析及處理。因此了解微感測器的設計、製程及運作方式不但對於瞭解系統設計將有極大的幫助,更可以為學生在將來不論是學術研究或實際應用層面上奠定良好的基礎。
本課程主要是介紹各種微感測器的基本運作方式及相關製程技術,並進一步探討其未來可能的發展。於課程中將就下列主題進行研討:
1. 基本微製程技術(fundamental of micro-fabrication technology):薄膜製程(thin-film process)、光蝕刻(photolithography)、沉積(deposition)及蝕刻(etching)技術。
2. 常見微機電製程技術(common micromachining technology):矽製程(silicon bulk micromachining) 、模鑄技術(molding)及微立體加工技術(3-D micromachining)。
3. 基本感測器理論(fundamental sensor modeling):基本靜力學(Static Mechanics)、壓阻效應(piezo-resistance)、光阻效應(photo-resistance)及電容量測模型(capacitive measurement)。
4. 微感測器原理之應用(micro-sensor applications):a.電容感測器; b.壓阻感測器; c. 熱感測器; d. 基因感測器; e. 蛋白質感測器
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課程目標 |
針對現在廣泛應用之微感測技術及相關製作技術作一深入淺出的探討 |
課程要求 |
無 |
預期每週課後學習時數 |
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Office Hours |
每週五 14:20~17:20 |
指定閱讀 |
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參考書目 |
1. Kovacs, G. T. A., Micromachined Transducers Sourcebook, McGraw Hill,
1998
2. Madou, M., Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, 1997
3. Gardner, J. W., Varadan, V. K., Awadelkarim, O. O., Microsensors,
MEMS, and Smart Devices, Wiley, 2001
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評量方式 (僅供參考) |
No. |
項目 |
百分比 |
說明 |
1. |
期中考 |
35% |
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2. |
期末考 |
0% |
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3. |
隨堂測驗 |
0% |
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4. |
作業 |
30% |
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5. |
報告 |
35% |
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週次 |
日期 |
單元主題 |
第1週 |
9/21 |
Introduction |
第2週 |
9/28 |
Semiconductor Processing Technologies
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第3週 |
10/05 |
Semiconductor Processing Technologies |
第4週 |
10/12 |
No Class |
第5週 |
10/19 |
Semiconductor Processing Technologies |
第6週 |
10/26 |
Silicon Micromaching Technologies |
第7週 |
11/02 |
Silicon micromachining |
第8週 |
11/09 |
silicon micromachining |
第9週 |
11/16 |
Surface Micromachining |
第10週 |
11/23 |
Mechanics |
第11週 |
11/30 |
Mid-term |
第12週 |
12/07 |
Microfluidics |
第13週 |
12/14 |
Capacitive Sensors |
第14週 |
12/21 |
Capacitive Sensors and Actuators |
第15週 |
12/28 |
Piezoresisitive Sensors |
第16週 |
1/04 |
Thermal Sensors |
第17週 |
1/11 |
Biosensors |
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