課程名稱 |
積體電路工程 INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY |
開課學期 |
95-2 |
授課對象 |
電機資訊學院 光電工程學研究所 |
授課教師 |
王維新 |
課號 |
EE5114 |
課程識別碼 |
921EU7120 |
班次 |
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學分 |
3 |
全/半年 |
半年 |
必/選修 |
選修 |
上課時間 |
星期三2,3,4(9:10~12:10) |
上課地點 |
電二102 |
備註 |
本課程以英語授課。 總人數上限:40人 |
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課程簡介影片 |
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核心能力關聯 |
本課程尚未建立核心能力關連 |
課程大綱
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為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
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課程概述 |
一、內容:
0. Introduction
1. Crystal Growth and Epitaxy
2. Diffusion
3. Ion Implantation
4. Native Oxide Films
5. Deposited Films
6. Etching and Cleaning
7. Lithography
8. In-process Measurements
9. Silicon Integrated Circuits
二、教科書:投影片講義 (採用投影片上課)
三、成績評量方式:期中、期末各佔 40%,作業佔 20%
四、預修課程:普通物理、工程數學、電子學
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課程目標 |
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課程要求 |
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預期每週課後學習時數 |
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Office Hours |
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指定閱讀 |
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參考書目 |
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評量方式 (僅供參考) |
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