課程資訊
課程名稱
微奈米生醫分析技術與系統
Micro & Nano Biomedical Analytical Technologies & Systems 
開課學期
111-2 
授課對象
電機資訊學院  生醫電子與資訊學研究所  
授課教師
黃念祖 
課號
EEE5039 
課程識別碼
943 U0410 
班次
 
學分
3.0 
全/半年
半年 
必/選修
選修 
上課時間
星期四2,3,4(9:10~12:10) 
上課地點
明達225 
備註
總人數上限:20人 
 
課程簡介影片
 
核心能力關聯
核心能力與課程規劃關聯圖
課程大綱
為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
課程概述

此門課程將介紹各式使用各式微製程技術所製作的微感測器,內容將包含製程技術和工作原理的介紹。 

課程目標
1. Introduce microfabrication processes and principles of mechanical, optical, electrical, and magnetic microsensors. 介紹可用於生醫感測的微感測器種類:包含力學、光學、電學及磁學之微感測器其量測原理和製程方式。
2. Arrange a clean room tour to see microfabrication facilities. 安排無塵室參訪使學生認識微製程設備。
3. Introduce finite element analysis software (COMSOL) to simulate the performance of microfluidics and microsensors.介紹有限元素分析軟體進行微流道及微感測器之設計模擬。 
課程要求
 
預期每週課後學習時數
 
Office Hours
另約時間 
參考書目
5. Albert Folch, ‘Introduction to BioMEMS’, CRC Press.
6. Steven Saliterman, ‘Fundamentals of BioMEMS and Medical Microdevices’, Willey Interscience, SPIE Press, 2005.
7. Ellis Meng, ‘Biomedical Microsystems’, CRC Press.
 
指定閱讀
1. G.T.A. Kovacs, “Micromachined Transducers - Sourcebook,” McGraw-Hill, 1998.
2. S. D. Senturia, “Microsystem Design” Kluwer Academic Publishers, c2001
3. 微機電系統與微系統:設計與製造, 2003
4. 微機電系統原理與應用, 2008 
評量方式
(僅供參考)
 
No.
項目
百分比
說明
1. 
作業 (Homework) 
30% 
 
2. 
期中考(Midterm) 
35% 
 
3. 
期末考(Final exam) 
35% 
 
 
針對學生困難提供學生調整方式
 
上課形式
作業繳交方式
考試形式
其他
由師生雙方議定
課程進度
週次
日期
單元主題
第1週
2/23  01_Course introduction 
第2週
3/2  02_Micromachining Techniques –
Bulk Micromachining  
第3週
3/9  02_Micromachining Techniques –
Surface Micromachining 
第4週
3/16  Clean room introduction & tour 
第5週
3/23  03_Mechanical Sensors/Actuators I 
第6週
3/30  03_Mechanical Sensors/Actuators II 
第7週
4/6  04_Piezoresistive Sensors/Actuators  
第8週
4/13  Midterm 
第9週
4/20  05_Optical Sensors/Actuators I 
第10週
4/27  05_Optical Sensors/Actuators II 
第11週
5/4  06_Capacitive Sensors/Actuators I 
第12週
5/11  06_Capacitive Sensors/Actuators II 
第13週
5/18  COMSOL workshop 
第14週
5/25  07_ Thermal Sensors/Actuators 
第15週
6/1  08_ Polymer Micromachining  
第16週
6/8  Final exam