隨著資訊科技與資料分析的蓬勃發展，半導體製造技術亦突飛猛進，從過去透過工廠自動化帶起的工業革命，時至今日已發展為利用高效能雲端運算以及機器學習技術所驅動的智慧製造系統與應用，並整合晶片設計端的邏輯，從而提高設計效率、降低成本、改善品質和可靠性，促進協同工作和持續改進。這些優勢使智慧製系統成為推動半導體產業發展和競爭力提升的關鍵因子。
第01週：半導體製程簡介
第02週：半導體製造執行系統
第03週：先進自動化物料搬運系統
第04週：智慧排程與派工
第05週：文獻探討：生產作業管理
第06週：動態抽樣檢測與晶圓量測技術
第07週：機器視覺與智慧瑕疵分類
第08週：文獻探討：晶圓品質檢測分析
第09週：機台故障偵測與分類
第10週：機台預後健康管理
第11週：先進製程批次控管
第12週：文獻探討：機台調控最佳化
第13週：先進製程管制與最佳化
第14週：電腦整合製造技術
第15週：期末考
第16週：分組期末專題報告